PDF ダウンロード スケジュール 23 いいね! 0 コメント (0) 17:45 〜 18:00 [20p-S221-16] 多相HfO2膜における均一強誘電相の発現 〇柴山 茂久1,2、徐 倫1、右田 真司3、鳥海 明1 (1.東大院工、2.学振特別研究員、3.産総研) キーワード:HfO2、強誘電体、ピエゾ応答力顕微鏡