[20p-S222-1~17] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [20p-S222-12] 燐ドープZnOマイクロ結晶球の構造および発光特性評価

〇藤原 優輝¹、池渕 達也¹、植山 健史¹、田中 稔伸¹、永嵜 史明¹、東畠 三洋¹、中村 大輔¹、岡田 龍雄¹ (1.九大シス情)

キーワード：酸化亜鉛、燐ドープ、マイクロ球

我々はレーザーを用いたマイクロサイズのＺｎＯマイクロ結晶球の作製に成功している。本研究ではアクセプタドーパントである燐を混入させた燐ドープＺｎＯマイクロ結晶球の作製に成功した。ラマンシフト測定においてＺｎＯの結晶構造を有していることを確認し、燐ドープを示唆する結果が得られた。さらに、燐ドープＺｎＯマイクロ球においてもバンド端由来の紫外発光ピークが得られたのでその結果について報告する。