[20p-S222-1~17] 21.1 Joint Session K

[20p-S222-13] Improvement of responsivity in Pt/ Mg_xZn_1-xO/n⁺-ZnO Schottky photodiodes

〇Haruyuki Endo¹, Kyo Takahashi¹, Yasube Kashiwaba² (1.Iwate Ind. Res. Inst., 2.Iwate Univ.)

Keywords:Schottky photodiode,MgxZn1-xO,ultraviolet

我々はUV検出方式火炎センサの半導体化を目指し、Mg_xZn_1-xO ショットキーフォトダイオード型UVセンサ開発を進めている。本報告では、Mg_xZn_1-xO薄膜の成膜条件、薄膜化及び素子構造の見直しを行うことで特性の改善を図ったので報告する。