[20p-S222-1~17] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20p-S222-3] ミストCVD法により形成したバッファ層上のZnO薄膜の結晶性

〇田之上 博信¹、和田 祥平¹、山下 達也¹、永岡 昭二^3,4、谷田部 然治^1,2、中村 有水^1,4 (1.熊本大学院、2.熊大先導機構、3.熊本産技、4.熊本有機)

キーワード：酸化亜鉛、ミストCVD