[20p-S222-1~17] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20p-S222-7] バナジウムと窒素を共添加したZnO 薄膜成長に関する検討

〇鈴木 智也¹、川島 知之¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工)

キーワード：酸化亜鉛、バナジウム、窒素