[20p-S321-1~16] 3.13 半導体光デバイス

△ [20p-S321-10] 表面回折格子を有する半導体薄膜DBRレーザの光出力特性

〇(DC)平谷 拓生¹、井上 大輔¹、冨安 高弘¹、福田 快¹、瓜生 達也¹、雨宮 智宏²、西山 伸彦¹、荒井 滋久^1,2 (1.東工大、2.量子ナノ)

キーワード：半導体レーザ、薄膜レーザ、DBR

LSIチップ内の長距離配線では配線遅延や発熱などが懸念されている。この問題解決のために光配線の導入が提案されており、我々はその光源として薄膜レーザを実現してきた。今回、高効率薄膜レーザの実現に向けて、薄膜DBRレーザを作製した。しきい値電流は1.7 mA、前端面および後端面からの外部微分量子効率はそれぞれ31%および2.3%であり、前後の光出力比は13となった。また、この結果からDBR反射率88%が見積もられた。