[20p-S321-1~16] 3.13 半導体光デバイス

[20p-S321-14] EAMゲートアレイを用いた分配選択型光スイッチモジュールの特性向上

〇村中 勇介¹、瀬川 徹¹、小木曽 義弘¹、藤井 拓郎¹、高橋 亮¹ (1.NTT先デ研)

キーワード：光スイッチ、電界吸収型光変調器、光パケットスイッチ

EAMゲートアレイを集積した分配選択型の高速な光スイッチに要素技術を導入し、モジュールの特性を向上させた。簡易なプロセスで作製可能な、埋め込み導波路型スポットサイズ変換器を集積し、光導波路と光ファイバとの高効率結合を実現した。さらに、EAMアレイ電極間に生じる電気クロストーク抑制のため、EAMに接続するパッシブ導波路の表面にグラウンド電極を形成することで、簡易な構造で光出力のパワー変動を抑制した。