[20p-S421-1~12] 17.3 層状物質

[20p-S421-8] MoS₂ FETの電気特性を向上させるための熱処理プロセスの検討

〇佐野 宏亮¹、足立 薫彦¹、下川 慶久¹、高橋 綱己^1,2、内田 建^1,2 (1.慶應大理工、2.JST CREST)

キーワード：半導体、二硫化モリブデン