2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/集積化技術

[20p-S422-1~18] 13.5 デバイス/集積化技術

2016年3月20日(日) 13:45 〜 18:30 S422 (南4号館)

池田 圭司(東芝)、井田 次郎(金沢工大)

14:30 〜 14:45

[20p-S422-4] デバイスシミュレーションによる積層型CMOSインバータの構造検討

服部 淳一1、福田 浩一1、太田 裕之1、入沢 寿史1、前田 辰郎1 (1.産総研)

キーワード:三次元集積回路、デバイスシミュレーション、TCAD