[20p-S423-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [20p-S423-9] n⁺p接合太陽電池に対する水素アニールの最適化

〇楊 天煕¹、魏 煌¹、鈴木 仁¹、岡田 竜弥¹、野口 隆¹、河本 直哉² (1.琉球大工、2.山口大工)

キーワード：太陽電池、水素アニール