[20p-S611-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

[20p-S611-16] 新規アルミニウム材料を用いたスプレー塗布法による
酸化アルミニウム薄膜の作製とそのパッシベーション特性

〇稲葉 孝一郎¹、豊田 浩司¹、中 俊雄¹、宮島 晋介² (1.東ソー・ファインケム、2.東工大院理工)

キーワード：結晶シリコン、パッシベーション、塗布

低コストな大気塗布プロセスの一つである、スプレー塗布法が注目されている。そこで、本研究では、当社開発の塗布用新規アルミニウム材料を用いたスプレー塗布法によるAlO_x膜を作製し、パッシベーション特性を評価した。