[20p-W834-1~12] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[20p-W834-9] シリコンディープエッチングを用いた光・電気変換器への光ファイバセルフアラインメント手法の検討

〇寺井 弘高¹、三木 茂人¹、山下 太郎¹、宮嶋 茂之¹ (1.情通機構)

キーワード：超伝導ナノワイア、光/電気変換器、ファイバセルフアラインメント

SFQ回路への多チャンネル光信号入力を実現することを視野に、Si基板上にSFQ回路とモノリシックに集積化した複数の光/電気（O/E）変換器に光ファイバを位置合わせして固定する方法の検討を行っている。今回、シリコンディープエッチングを用いたSi基板上のO/E変換器への光ファイバセルフアラインメント手法を検討したので報告する。