[21a-H101-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[21a-H101-1] AR-XPSによる4H-SiC (0001) on-Axis, 4° Off-Axis基板の初期酸化過程の解明

〇荒井 仁¹、豊田 涼馬¹、礒橋 藍²、佐野 泰久²、野平 博司¹ (1.東京都市大工、2.阪大院工)

キーワード：4H-SiC、XPS、熱酸化