[21a-H103-1~10] 6.4 薄膜新材料

[21a-H103-3] スパッタ法により形成したAl₂O₃添加CeO₂薄膜の電気特性評価

〇小西 順也¹、大澤 隆志¹、田中 章裕¹、牧石 拓巳¹、鈴木 摂²、石橋 啓次²、李 成奇²、高橋 健一郎²、山本 康博¹ (1.法政大理工、2.㈱コメット)

キーワード：誘電体、高誘電率絶縁膜、二酸化セリウム