[21a-H111-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-H111-3] パルスレーザー堆積/非接触原子間力顕微鏡複合装置の開発とアナターゼ型TiO₂(001)表面の高分解能測定

〇勝部 大樹¹、山下 隼人¹、阿保 智¹、若家 冨士男¹、阿部 真之¹ (1.阪大院基礎工)

キーワード：原子間力顕微鏡、パルスレーザー堆積法、表面