[21a-H121-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [21a-H121-10] ScAlMgO₄基板上へのGaN薄膜成長における不純物混入の抑制

〇矢原 弘崇¹、岩渕 拓也¹、窪谷 茂幸¹、谷川 智之¹、花田 貴¹、片山 竜二¹、福田 承生²、松岡 隆志¹ (1.東北大金研、2.福田結晶)

キーワード：窒化ガリウム