[21a-P6-1~17] 3.9 テラヘルツ全般

[21a-P6-1] テラヘルツ時間領域分光法を用いた反射測定による誘電体基板材料の積層構造測定

〇(M1)東島 侑矢¹、長 敬三¹、久保田 貴之¹、水津 光司¹、須藤 博樹¹、中林 寛暁¹ (1.千葉工大工)

キーワード：テラヘルツ波、テラヘルツ時間領域分光法

近年，無線システムに用いられる周波数帯が高周波化する中，アンテナ等に用いられる部材の製作精度への要求が高まっている．部材の品質向上には，部材表面や内部の特性を精度よく効率的に非破壊で測定することが要求される．
本報告では，テラヘルツ時間領域分光法を用い，コリメート化されたテラヘルツ波を材料に照射し反射波を観測することによって，プリントアンテナ用の誘電体基板の積層構造を測定した結果について報告する．