[21a-P7-1~10] 6.6 Probe Microscopy

[21a-P7-4] Electrical and Mechanical Properties of Metal Nanoparticle Sheet

〇PANGPANG WANG¹, SHOHEI ARAKI², DAISUKE TANAKA³, SOU RYUZAKI², KOICHI OKAMOTO², KAORU TAMADA² (1.MolDev, Kyushu Univ., 2.IMCE, Kyushu Univ., 3.Oita College)

Keywords:Scanning Probe Microscopy,Metal Nanoparticle,Nano Indentation

ナノ材料の電気および力学特性は、電子デバイスへの応用において非常に重要である。金属ナノ粒子は、局在プラズモン共鳴現象によって、光をナノサイズ領域に閉じ込め、狭い空間内で電磁場を著しく増強させる効果を有し、電子デバイスへの応用が期待される。本研究では、走査型プローブ顕微鏡（SPM）に基づいたケルビンプローブ顕微法（KPFM）およびナノインデンテーション法（Nano indentation）を用いて自立的な（Free-Standing）金属ナノ粒子シートの電気特性および力学特性を研究した。