[21a-P7-1~10] 6.6 プローブ顕微鏡

[21a-P7-4] 金属ナノ粒子シートの電気特性および力学特性評価

〇王 胖胖¹、荒木 祥平²、田中 大輔³、龍崎 奏²、岡本 晃一²、玉田 薫² (1.九大分子シス、2.九大先導、3.大分高専)

キーワード：走査型プローブ顕微鏡、金属ナノ粒子、ナノインデンテーション

ナノ材料の電気および力学特性は、電子デバイスへの応用において非常に重要である。金属ナノ粒子は、局在プラズモン共鳴現象によって、光をナノサイズ領域に閉じ込め、狭い空間内で電磁場を著しく増強させる効果を有し、電子デバイスへの応用が期待される。本研究では、走査型プローブ顕微鏡（SPM）に基づいたケルビンプローブ顕微法（KPFM）およびナノインデンテーション法（Nano indentation）を用いて自立的な（Free-Standing）金属ナノ粒子シートの電気特性および力学特性を研究した。