[21a-P8-1~27] 16 Amorphous and Microcrystalline Materials（Poster）

[21a-P8-11] Plasma CVD of a-SiOH as AR coating layer for c-Si/PEDOT:PSS solar cells

〇Koji Kasahara¹, Jaker Hossain², Qiming Liu², Ryo Ishikawa², Keiji Ueno², Hajime Shirai² (1.Saitama Univ., 2.Grad. School of Sci. & Eng., Saitama Univ.)

Keywords:solar cell,PEDOT:PSS,crystalline silicon

前回までに結晶Si/PEDOT:PSSヘテロ接合太陽電池は、簡単な素子構造で効率13％以上が得られることを報告してきた。しかしより一層の高効率化、信頼性向上のためには、ARコート、封止膜が求められる。前回までにスピンコート、霧化TiO₂、MoO_x塗布膜によるARコートを検討し、初期性能の向上には有効であったが、大気・光照射安定性向上に関しては尚多くの課題を残している。今回は、低圧プラズマCVD法で作製したa-SiOHのARコート及び封止効果を検討した。