2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[21a-P8-1~27] 16 非晶質・微結晶(ポスター)

2016年3月21日(月) 09:30 〜 11:30 P8 (屋内運動場)

09:30 〜 11:30

[21a-P8-15] Al誘起成長Ge薄膜をシードとした低不純物密度Ge層の厚膜形成

中田 充紀1、都甲 薫1、原 康祐2、宇佐美 徳隆3、末益 崇1 (1.筑波大 数理物質、2.山梨大 クリスタル研、3.名大 工)

キーワード:Al誘起成長、Ge