[21a-P8-1~27] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[21a-P8-24] Cat-CVD a-Si パッシベーション膜へのITOスパッタダメージ

〇小西 武雄¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：スパッタ、触媒化学気相堆積、太陽電池