2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

16 非晶質・微結晶 » 16 非晶質・微結晶(ポスター)

[21a-P8-1~27] 16 非晶質・微結晶(ポスター)

2016年3月21日(月) 09:30 〜 11:30 P8 (屋内運動場)

09:30 〜 11:30

[21a-P8-3] FLA でのa-Siの結晶化における反射防止膜利用によるパルス光エネルギー低減

園田 裕生1、大平 圭介1 (1.北陸先端大)

キーワード:フラッシュランプアニール、反射防止膜