[21a-P8-1~27] 16 非晶質・微結晶（ポスター）

[21a-P8-3] FLA でのa-Siの結晶化における反射防止膜利用によるパルス光エネルギー低減

〇園田 裕生¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：フラッシュランプアニール、反射防止膜