[21a-S222-1~12] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[21a-S222-3] β-Ga2O3(010)単結晶のエッチピットの観察

〇(PC)花田 賢志¹、森林 朋也¹、輿 公祥²、佐々木 公平²、倉又 朗人²、上田 修³、嘉数 誠¹ (1.佐賀大、2.タムラ製作所、3.金沢工大)

キーワード：酸化ガリウム