[21a-S422-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

△ [21a-S422-7] 温度サイクルを減らした酸化濃縮法による高圧縮ひずみ極薄膜Ge-OI 構造の実現

〇金 佑彊^1,2、竹中 充^1,2、高木 信一^1,2 (1.東大院工、2.JST-CREST)

キーワード：酸化濃縮、ひずみ、Ge