[21a-W611-1~11] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [21a-W611-10] 円筒キャビティと固体アンプを用いたマイクロ波プラズマ生成ⅠⅠ

〇(M1)長谷川 雄一¹、小川 大輔¹、中村 圭二¹、パーク スーナム²、小林 理²、菅井 秀郎³ (1.中部大工、2.アプライドマテリアルズ、3.名産研)

キーワード：マイクロ波プラズマ、円筒キャビティ、固体アンプ