[21a-W641-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

[21a-W641-5] Fabrication and evaluation of piezoelectric multilayer thin-film actuators

〇Ryosuke Yamamoto¹, Fumiya Kurokawa¹, Yuichi Tsujiura¹, Hirotaka Hida¹, Isaku Kanno¹, Natsumi Makimoto², Takeshi Kobayashi² (1.Kobe Univ., 2.AIST)

Keywords:thin film,PZT,multilayer

圧電薄膜を用いた積層構造は，交互に配置された内部電極を作製する実用的な成膜，微細加工プロセスが確立されておらず，単層薄膜のみの利用にとどまっていた．これまで我々の研究グループでは，1回のスパッタ成膜により内部電極を有した積層薄膜を作製する手法を確立し，実効的な静電容量の向上について報告した．本研究では，圧電MEMS応用を目的としてPZT積層薄膜を作製し，その実効的な圧電特性について評価した．