[21a-W833-1~12] 11.4 Analog applications and their related technologies

[21a-W833-5] Consideration of fabrication process of waveguide-coupled SSPD

〇Kentaro Waki^1,2, Taro Yamashita², Shin-ichiro Inoue^2,3, Shigehito Miki², Hirotaka Terai², Rikizo Ikuta¹, Takashi Yamamoto¹, Nobuyuki Imoto¹ (1.Osaka Univ., 2.NICT, 3.JST-PRESTO)

Keywords:SSPD,single-photon detector,waveguide-coupled SSPD

近年，量子光学回路をワンチップに集約するモノリシック集積回路が注目されており，そのキーデバイスとして，導波路結合型SSPDが研究されている．導波路結合型SSPDは，導波路上に配置された超伝導ナノワイヤにより導波路中を伝搬する光子を検出する．今回我々は，高性能な導波路結合型SSPDの実現に向けて，従来の作製プロセスを改良し，作製した素子の超伝導特性を評価したので報告する．