[21a-W833-1~12] 11.4 アナログ応用および関連技術

[21a-W833-5] 導波路結合型SSPDの作製プロセスの検討

〇和木 健太朗^1,2、山下 太郎²、井上 振一郎^2,3、三木 茂人²、寺井 弘高²、生田 力三¹、山本 俊¹、井元 信之¹ (1.阪大院基礎工、2.情通機構、3.JSTさきがけ)

キーワード：SSPD、単一光子検出器、導波路結合型SSPD

近年，量子光学回路をワンチップに集約するモノリシック集積回路が注目されており，そのキーデバイスとして，導波路結合型SSPDが研究されている．導波路結合型SSPDは，導波路上に配置された超伝導ナノワイヤにより導波路中を伝搬する光子を検出する．今回我々は，高性能な導波路結合型SSPDの実現に向けて，従来の作製プロセスを改良し，作製した素子の超伝導特性を評価したので報告する．