[21p-H113-1~18] 6.6 プローブ顕微鏡

[21p-H113-14] フィードバック冷却によるマイクロ片持ち梁の熱振動制振の限界

〇鐘ヶ江 力¹、鍛治 元晴²、高城 亮馬²、河村 良行^1,2 (1.福岡工大院工、2.福岡工大)

キーワード：フィードバック冷却、熱振動、マイクロ片持ち梁

微小機械振動子は，熱により常に振動しておりこの熱雑音が，計測限界の一つの限界となりうる．本研究では，マイケルソン干渉計で，電歪素子(PZT)に取り付けたマイクロ片持ち梁の熱振動を計測し，FFTアナライザを用いて信号を観測する．その信号の位相を90°遅らせてPZTにフィードバックすることで，熱振動の制御を行った．そして，このフィードバックによる冷却は，振幅をバックグラウンドノイズ以下には制振できないことが分かった．