[21p-H116-1~22] 3.8 光計測技術・機器

[21p-H116-2] 白色干渉計を用いた薄膜メトロロジーの開発

〇吉野 紘和¹、Mansfield Daniel²、Smith Roger¹、Walls Michael¹ (1.Loughborough Univ.、2.Taylor Hobson)

キーワード：白色干渉計、薄膜、エリプソメトリー

白色干渉計の粗さ測定装置としての性能を、接触式のスタイラス粗さ測定装置から得られたプロファイルと比較し議論する。また、近年開発されたHelical Complex Field 関数を白色干渉計に適用し、従来では測定することが困難であった1um以下の薄膜の厚み測定や、透明・半透明膜の下の表面粗さの3次元面の測定、基盤や吸光素材の可視光域における屈折率の測定事例を紹介する。