[21p-H137-1~22] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[21p-H137-10] Fabrication of nano-scale photocathode in transparent conductor for highly coherent beam generation

〇(D)Tatsunori Shibuya¹, Noriyosu Hayashizaki², Mitsuhiro Yoshida³ (1.Tokyo Tech, 2.Tokyo Tech RLNR, 3.KEK)

Keywords:Accelerator,Photocathode,Nanofabrication

物質観測にも用いられる電子ビームの品質は、横方向のコヒーレンス長によって評価される。光陰極では、レーザーの回折現象によって電子光源サイズが制限されるため、光源サイズに依存する横コヒーレンス長も同時に制限を受けてしまう。我々は、FIBを用いた微細加工を活用し、光源となる陰極材を極小化することで光の回折制限を受けない新奇の光電子放出法を提案している。本講演では、この微細加工を施した光陰極の製作とその評価について報告する。