[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

[21p-H137-10] 高コヒーレンスビーム生成のための透明伝導体埋め込み型ナノスケール光陰極の製作

〇(D)澁谷 達則¹、林崎 規託²、吉田 光宏³ (1.東工大理工学、2.東工大原子炉、3.高エネ研)

キーワード：加速器、光陰極、微細加工

物質観測にも用いられる電子ビームの品質は、横方向のコヒーレンス長によって評価される。光陰極では、レーザーの回折現象によって電子光源サイズが制限されるため、光源サイズに依存する横コヒーレンス長も同時に制限を受けてしまう。我々は、FIBを用いた微細加工を活用し、光源となる陰極材を極小化することで光の回折制限を受けない新奇の光電子放出法を提案している。本講演では、この微細加工を施した光陰極の製作とその評価について報告する。