[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

△ [21p-H137-13] 単一カーボンナノチューブを電界放出電子源とする小型走査電子顕微鏡 の開発

〇大石 峻也¹、山崎 慎太郎¹、中原 仁¹、村田 英一²、永井 滋一³、大野 輝昭⁴、安坂 幸師¹、齋藤 弥八¹ (1.名大院工、2.名城大院理工、3.三重大院工、4.テクネックス工房)

キーワード：カーボンナノチューブ