[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

[21p-H137-6] カーボンナノチューブの電子線誘起エッチング

富田 雄人^1,2、〇吉田 秀人¹、竹田 精治¹ (1.阪大産研、2.阪大院工)

キーワード：カーボンナノチューブ、電子線誘起エッチング、環境制御型透過電子顕微鏡