[21p-P14-1~7] 3.7 レーザープロセシング

[21p-P14-1] 数サイクルレーザーパルスによる固体表面へのナノ加工

〇宮地 悟代¹ (1.東京農工大)

キーワード：ナノ構造生成、超高速現象、数サイクルレーザーパルス

光の振動が数回程度のパルス幅の短いレーザーは、数サイクルレーザーパルスと呼ばれている。パルス幅が短いため、パルスエネルギーは小さくても瞬間的な電場強度は高く、加工試料表面に集光・照射したときアブレーションを誘起し、ナノ構造を生成できると考えられる。本研究ではレーザー発振器から出力される数サイクルレーザーパルスを反射型対物レンズによってダイヤモンド状炭素薄膜に集光したところ、アブレーションによるナノ構造形成を観測した。これはレーザー増幅器が不要なレーザー加工が実現できる可能性を示している。