[21p-P14-1~7] 3.7 レーザープロセシング

[21p-P14-2] フェムト秒レーザーを用いた劈開による基板切り出し手法の検討

岡本 淳祐¹、〇宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名工大)

キーワード：フェムト秒レーザー、劈開