[21p-P15-1~23] 3.8 光計測技術・機器

[21p-P15-1] 幾何光学と波動光学の連成解析によるウェハ厚さ計測の誤差特性

〇小貫 哲平¹、尾嶌 裕隆¹、清水 淳¹、周 立波¹ (1.茨大工)

キーワード：ウェハ厚さ計、ファブリ-ペロー干渉、分光

光学的な手法によるウェハ厚さ計測の精度保証を目的として，誤差要因を任意に制御した厚さ測定精度解析を行う為に，幾何光学と波動光学の連成解析によるウェハ厚さ計測シミュレーションを行った．