[21p-P15-1~23] 3.8 光計測技術・機器

[21p-P15-16] 熱拡散方向に基づいた接合部可視化手法の開発

〇光田 浩樹¹、中尾 敏之¹、渡辺 正浩¹、芹川 滋²、熊沢 豊²、加藤 洋史² (1.日立研開、2.日立ハイテクファインシステムズ)

キーワード：赤外線画像、非破壊検査