[21p-P15-1~23] 3.8 光計測技術・機器

△ [21p-P15-8] デュアル光コム分光エリプソメトリー

〇南川 丈夫^1,2、謝 宜達^1,2、澁谷 九輝^1,2、兼岡 良樹¹、大久保 章^2,3、稲場 肇^2,3、水谷 康弘^2,4、安井 武史^1,2、岩田 哲郎^1,2 (1.徳島大院STS、2.JST-ERATO、3.産総研、4.阪大院工)

キーワード：デュアル光コム分光、分光エリプソメトリー

デュアル光コム分光法は、短い測定時間で広波長域を高い波長確度・高い周波数分解能で計測でき、かつ光の強度・位相情報を直接取得可能といった特徴を持つ分光法である。本研究では、デュアル光コム分光法をエリプソメトリーへ応用することで、非常に高い周波数精度を有するデュアル光コム分光エリプソメトリーを実現した。また、材料物性を反映するエリプソパラメーターの精密な波長依存性の評価が可能であることを示した。