[21p-P15-1~23] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

△ [21p-P15-9] Measurement System of Trace Moisture using Wavelength-Meter-Controlled Cavity Ring-Down Spectroscopy

〇Koji Hashiguchi¹, Daniel Lisak², Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST, 2.UMK)

Keywords:CRDS,trace moisture,humidity

ガス中の微量水分の高精度な測定を可能にする信頼性の高い測定方法としてキャビティリングダウン分光法（CRDS）が近年注目されている。現在開発中の測定装置は、波長計制御型CRDSを用いることで高フィネス共振器を使用することが可能となり、高感度化を達成している。開発した装置を用いて実際に微量水分標準ガスを測定し、信頼性の検証を行った。さらにsub-ppbレベルの微量水分の測定から検出感度の検証も行った。