[21p-P15-1~23] 3.8 光計測技術・機器

△ [21p-P15-9] 波長計制御型CRDSによるガス中微量水分計測

〇橋口 幸治¹、Lisak Daniel²、阿部 恒¹ (1.産総研、2.ニコラス・コペルニクス大学)

キーワード：キャビティリングダウン分光法、微量水分、湿度

ガス中の微量水分の高精度な測定を可能にする信頼性の高い測定方法としてキャビティリングダウン分光法（CRDS）が近年注目されている。現在開発中の測定装置は、波長計制御型CRDSを用いることで高フィネス共振器を使用することが可能となり、高感度化を達成している。開発した装置を用いて実際に微量水分標準ガスを測定し、信頼性の検証を行った。さらにsub-ppbレベルの微量水分の測定から検出感度の検証も行った。