[21p-P16-1~12] 3.15 シリコンフォトニクス

[21p-P16-1] 最小限の膜厚ステップ領域を使用したＡＷＧのロス低減構造

〇岡山 秀彰^1,2、太縄 陽介^1,2、八重樫 浩樹^1,2、佐々木 浩紀^1,2 (1.沖電気、2.PETRA)

キーワード：光導波路、シリコン、波長フィルタ

AWGにおいてスラブーアレイ導波路境界でのロスを低減する新たな構造に関して報告を行う。アレイ導波路にＭＭＩを設け、この部分にのみ薄いスラブを有したリブ構造を配置する。