[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [21p-P17-1] ガラス基板上に形成された自己整合四端子メタルダブルゲートCLC LT poly-Si TFTを用いたpHセンサの検討

〇大澤 弘樹¹、中野 道広¹、鈴木 仁志¹、桑野 聡子¹、原 明人¹ (1.東北学院大工)

キーワード：薄膜トランジスタ、多結晶シリコン、pHセンサ

閾値制御が可能な自己整合四端子メタルダブルゲートCLC LT poly-Si TFTを用いたpHセンサの検討を行った。理論値に近い21.7 mV/pHのpH感度が得られ、TFTがpHセンサとして機能していることを確認した。