[21p-P17-1~26] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /MEMS/Integration technology

△ [21p-P17-14] Detection of carbon dioxide by wavelength selective uncooled infrared sensors using plasmonic absorbers

〇Takafumi Kuboyama¹, Yousuke Takagawa¹, Shinpei Ogawa², Daisuke Fujisawa², Sinichi Yasui², Masafumi Kimata¹ (1.Ritsumeikan Univ/, 2.Mitsubishi Electric Corp.)

Keywords:infrared sensors,plasmon,carbon dioxide

我々は、プラズモニクス・メタマテリアルを応用して、波長選択性を有する非冷却赤外線センサを実現した。 今回、この波長選択性を有する非冷却赤外線センサを用いて、ガス検知、特に二酸化炭素検知への応用を検証した。