[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[21p-P17-18] Sub-1G検出へ向けたCMOS-MEMS加速度センサの検討

〇山根 大輔^1,4、小西 敏文²、伊藤 浩之^1,4、年吉 洋^3,4、益 一哉^1,4、町田 克之^1,2,4 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大、4.JST-CREST)

キーワード：CMOS-MEMS、加速度センサ、sub-1G