[21p-P3-1~21] 6.2 Carbon-based thin films

[21p-P3-18] Photoinduced Deformation of Amorphous Carbon Nitride Thin Films Deposited on Cellulose Nanopaper

〇Masami Aono¹, Shinnosuke Asai¹, Taku Odawara¹, Tomo Harata¹, Masaya Nogi² (1.NDA, 2.Osaka Univ. ISIR)

Keywords:carbon nitride,photoinduced deformation

アモルファス窒化炭素（a-CN_x）の光誘起変形を応用した光駆動デバイス実現を目指し、透明で薄い紙であるセルロースナノペーパー（CNP）上にa-CN_xを成膜することを試みた。厚さ約0.02 mmのCNPを任意の大きさ、形状に加工した後、反応性高周波マグネトロンスパッタ法を用いて、a-CN_xを堆積させた。得られたa-CN_x／CNP試料に白色光を照射したところ、光誘起変形が観察された。