[21p-P3-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

[21p-P3-21] RFスパッタリング法によって作製したBCN薄膜の発光特性

〇内島 一哉¹、佐竹 聖樹²、澤畠 淳二³、中村 重之⁴、財部 健一⁵、福井 一俊⁶、池田 和聡⁶、伊藤 國雄¹、山本 伸一¹ (1.龍谷大理工、2.明石高専、3.茨城高専、4.津山高専、5.岡山理大、6.福井大工)

キーワード：ホウ素窒化炭素