[21p-P4-1~3] 8.2 プラズマ診断・計測

[21p-P4-2] 質量分析法によるDLC成膜用Ar/CH₄プラズマの診断

〇深井 駿¹、小田 昭紀¹、上坂 裕之²、太田 貴之³ (1.千葉工大、2.名大機械、3.名城大理工)

キーワード：放電プラズマ工学、DLC