[21p-P6-1~4] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[21p-P6-1] 斜め堆積反応性蒸着の基板角度変化における堆積シミュレーション

〇(M1)仲尾 昌浩¹、井上 泰志¹、高井 治² (1.千葉工大工、2.関東学院大)

キーワード：堆積シミュレーション、反応性蒸着、離散的ナノ柱状構造